






净化车间的静电应该怎么预防和处理
静电是净化车间 难控制的因素之一,静电可以使半导体器件生产中的废品增多、降低电子设备的可靠性。因此,在半导体器件的生产中,所有的制造阶段都需要防止静电对器件的作用。 消除静电的方法很多,对有防静电环境要求的净化车间工程,常用以下几种方法: 1、选用合适的材料: 净化车间装修要采用不易产生静电或产生静电后能较快泄漏的材料,多种材料共同使用时,应选用在电序列表中位置接近的材料。所有的材料可归入电的导体或电的绝缘体。导体是电流能通过的材料,绝缘体是电流不能通过的材料。 2、接地: 接地是带电导体消除静电 为普遍、经济、简便、可靠的方法。 (1)净化车间内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施。 (2)电子工业洁净室的围护结构(吊顶、地面、墙、柱)应采用防静电装饰,可以抑制尘埃的带电吸附。 (3)工艺设备接地。 (4)办公设备应采用能防静电的材料制成并接地。 (5)工作人员应穿戴防静电的无尘衣、鞋、帽、手套、腕带等。 3、.中和: 将带电体(静电)周围的空气离子化后,带电的离子在电磁场作用下发生迁移,带电体吸引异性电荷达到中和而消除静电。静电消除器是一种能产生电子和离子的装置,它产生的电子、离子与带电体上的异性电荷中和,从而消除静电。绝缘材料表面所带的静电荷、空气中的静电荷必须用静电中和的办法来消除。 4、湿度控制: 在众多消除静电的方法中,室内湿度控制也被认为可以用来减少和消除净化车间静电。通过在环境中保持高的相对湿度,在该区域内物体的表面将形成薄薄的湿气层,利用这一薄层来提供导电的通道,使得可能产生的电荷流过该湿气层耗散静电荷。另外,薄薄的湿气层可以增加物体表面的润滑性,摩擦生电也将减少。一般来说,湿度越低,产生的电荷越多。但是资料表明,甚至在湿度高时也会产生显著的静电电压,但是,在高湿度环境中,生产人员可能会感觉十分不舒服,零部件可能生锈,并产生可焊性问题。同时,企图用湿度控制来消除静电的方法显然是高耗费的,尤其在干燥地区更是如此。

无尘车间的洁净度需要符合哪些规定
无尘车间的主要作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。那么,无尘车间的洁净度需要符合哪些规定呢 1、对于进行产品加工、生产不同产品的无尘净化车间,进行等级划分。 2、根据无尘车间的气流组级别,对空气净化形式进行划分,有些工作区可以采取局部净化,而有些工作区则需要进行全室空气净化。 3、分开设置层流无尘车间、乱流无尘车间、运行班次和使用时间不同的无尘车间内的净化空气调节系统。 4、应保持无尘车间内的送风量,其送风量要符合国家标准,且对不同无尘车间内送风量的多少进行梯级划分。 5、宜采用专业的吸尘器和真空吸尘系统来进行无尘厂房的清洁,保证无尘车间内的清洁度。 6、在产品在生产的过程中对室温、湿度等方面有严格要求的时候,无尘车间内设置的系统必须要满足产品在这方面的要求。若产品在生产的过程中对室温、湿度等方面没有要求,那么,宜将室温调整到20°~26°,湿度为70°。 7、在对普通无尘净化车间内的空气进行净化时,宜使用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤进行空气净化。如果是十万级无尘车间要进行空气净化处理,采用亚高效空气过滤器代替高效空气过滤器要好。


