洁净室如何实现节能设计

一、新风热、湿处理所消耗的能量 根据国家规范的规定，由于卫生要求，洁净室内工作人员所需新风量，维持室内正压所需的新风量，系统的排风量，系统及洁净室的漏风量这些新风量之和，对于10万洁净室则大于等于30%，1万级洁净室不低于20%，1000级洁净室则不低于10%，水平单向流洁净室为不低于4%，垂直单向流洁净室内不低于2%，相当于洁净室约5~10次换气，为同样一般空调面积送风量的1~1.5倍。另外洁净等级越高，其净化空调造价越高，以后的换气次数越多，同时其运行成本也高。所以选择合适的洁净度是首要节约运行条件。 二、洁净室空间与洁净度的问题 洁净室面积过大，通风换气次数过多，其对应送风量大，耗电量也大。因此如果局部有洁净度要求的，我们可以设计成局部百级工作区域，其他地方设置普通洁净度，这对以后的运行成本将起到非常重要的作用。 三、换气次数 有关于换气次数还没有达成共识。许多原则都已过时，是建立在老观念上，采用低效的空气过滤器。调查显示，ISO第5级标准的洁净室推荐的换气次数变化范围是从250到700以上。美国的一所国家实验室正在确定ISO第5级洁净室的标准。研究显示，实际换气次数范围是90到250——比操作规程标准低很多，而且不会影响生产和洁净度。因此建议ISO第5级洁净室的换气次数大约是200，保守的上限是300。 四、热量回收 许多任务厂都要消耗大量的能量来制热，同时又消耗更多的能量从工艺过程中移除“废”热，却没有把这两个过程结合起来。回收的热量可以用来预热新风，送风再热，以及其它用途。AHU预热盘管可以用废水预热外来的空气（在炎热的天气下也可预冷）。再热盘管可以从空气压缩机或者冷冻机的冷凝器回水中回收废热，同时节省了冷冻机能量和锅炉燃料。热交换器可以使不能混合或者直接接触的不同介质进行热量交换。由于净化空调系统中送(回)风量都比较大，在运行中风机所消耗的电能将会有一部分变为输送空气的动能，而另一部分则转换为热能而散发于空气中。

电子厂无尘车间为什么还要恒温恒湿

随着人们对生活品质的提高，对其生产品质的要求也越来越严格。电子厂与其他行业的无尘车间在建设规划时对于静电的控制主要分为两种：高湿度实际上减小了无尘车间、洁净室表面的静电荷积累，──这是大家希望的结果。较低的湿度比较适合电荷的积累并成为潜在的具有破坏性的静电释放源。 当相对湿度超过50%时，静电荷开始迅速消散，但是当相对湿度小于30%时，它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。 相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中，半导体无尘车间、洁净室一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。很多化学反应的速度，包括腐蚀过程，将随着相对湿度的增高而加快。所有暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度可以使反应加速。幸运的是，一些金属，例如铝，可以与水形成一层保护型的氧化物，并阻止进一步的氧化反应;但另一种情况是，例如氧化铜，是不具有保护能力的，因此，在高湿度的环境中，铜制表面更容易受到腐蚀。