净化车间的静电应该怎么预防和处理

静电是净化车间 难控制的因素之一，静电可以使半导体器件生产中的废品增多、降低电子设备的可靠性。因此，在半导体器件的生产中，所有的制造阶段都需要防止静电对器件的作用。 消除静电的方法很多，对有防静电环境要求的净化车间工程，常用以下几种方法： 1、选用合适的材料： 净化车间装修要采用不易产生静电或产生静电后能较快泄漏的材料，多种材料共同使用时，应选用在电序列表中位置接近的材料。所有的材料可归入电的导体或电的绝缘体。导体是电流能通过的材料，绝缘体是电流不能通过的材料。 2、接地： 接地是带电导体消除静电 为普遍、经济、简便、可靠的方法。 (1)净化车间内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施。 (2)电子工业洁净室的围护结构(吊顶、地面、墙、柱)应采用防静电装饰，可以抑制尘埃的带电吸附。 (3)工艺设备接地。 (4)办公设备应采用能防静电的材料制成并接地。 (5)工作人员应穿戴防静电的无尘衣、鞋、帽、手套、腕带等。 3、.中和： 将带电体(静电)周围的空气离子化后，带电的离子在电磁场作用下发生迁移，带电体吸引异性电荷达到中和而消除静电。静电消除器是一种能产生电子和离子的装置，它产生的电子、离子与带电体上的异性电荷中和，从而消除静电。绝缘材料表面所带的静电荷、空气中的静电荷必须用静电中和的办法来消除。 4、湿度控制： 在众多消除静电的方法中，室内湿度控制也被认为可以用来减少和消除净化车间静电。通过在环境中保持高的相对湿度，在该区域内物体的表面将形成薄薄的湿气层，利用这一薄层来提供导电的通道，使得可能产生的电荷流过该湿气层耗散静电荷。另外，薄薄的湿气层可以增加物体表面的润滑性，摩擦生电也将减少。一般来说，湿度越低，产生的电荷越多。但是资料表明，甚至在湿度高时也会产生显著的静电电压，但是，在高湿度环境中，生产人员可能会感觉十分不舒服，零部件可能生锈，并产生可焊性问题。同时，企图用湿度控制来消除静电的方法显然是高耗费的，尤其在干燥地区更是如此。

胜熠达介绍电子净化车间的设计要求

以芯片生产车间、集成电路无尘车间和磁盘制造车间为代表的电子工业工程净化车间除了对微粒的严格控制外，还对温湿度的控制、照度微震等要求更严格，同时还要预防消除静电影响。下面，胜熠达介绍电子净化车间的设计要求。 电子净化车间的温、湿度应根据生产工艺要求确定当生产工艺无具体要求时，其温度可按20~26℃，相对湿度30%~70%采用。人员净化用室和生活用室的温度可按16~28℃采用。根据与国际ISO标注接轨的中国国家标准GB-50073，这类洁净室的洁净度等级1-9级，其中1-5级，气流流型为单向流或混合流，风速0.2-0.45m/s;6级气流流型为非单向流，换气次数50-60次/h;7级气流流型为非单向流，换气次数15-25次/h;8-9级气流流型为非单向流，换气次数10-15次/h。 根据现行规范，电子制造厂万级无尘车间内的噪声级：不应大于65dB(A)1、电子制造厂无尘车间垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了。 2、电子制造厂净化车间与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。 3、电子制造行业万级无尘车间的新鲜空气量应取下列二项中的 大值。 4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。 5、保证供给电子净化车间内每人每小时的新鲜空气量不小于40㎡。