静电是净化车间 难控制的因素之一，静电可以使半导体器件生产中的废品增多、降低电子设备的可靠性。因此，在半导体器件的生产中，所有的制造阶段都需要防止静电对器件的作用。 消除静电的方法很多，对有防静电环境要求的净化车间工程，常用以下几种方法： 1、选用合适的材料： 净化车间装修要采用不易产生静电或产生静电后能较快泄漏的材料，多种材料共同使用时，应选用在电序列表中位置接近的材料。所有的材料可归入电的导体或电的绝缘体。导体是电流能通过的材料，绝缘体是电流不能通过的材料。 2、接地： 接地是带电导体消除静电 为普遍、经济、简便、可靠的方法。 (1)净化车间内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施。 (2)电子工业洁净室的围护结构(吊顶、地面、墙、柱)应采用防静电装饰，可以抑制尘埃的带电吸附。 (3)工艺设备接地。 (4)办公设备应采用能防静电的材料制成并接地。 (5)工作人员应穿戴防静电的无尘衣、鞋、帽、手套、腕带等。 3、.中和： 将带电体(静电)周围的空气离子化后，带电的离子在电磁场作用下发生迁移，带电体吸引异性电荷达到中和而消除静电。静电消除器是一种能产生电子和离子的装置，它产生的电子、离子与带电体上的异性电荷中和，从而消除静电。绝缘材料表面所带的静电荷、空气中的静电荷必须用静电中和的办法来消除。 4、湿度控制： 在众多消除静电的方法中，室内湿度控制也被认为可以用来减少和消除净化车间静电。通过在环境中保持高的相对湿度，在该区域内物体的表面将形成薄薄的湿气层，利用这一薄层来提供导电的通道，使得可能产生的电荷流过该湿气层耗散静电荷。另外，薄薄的湿气层可以增加物体表面的润滑性，摩擦生电也将减少。一般来说，湿度越低，产生的电荷越多。但是资料表明，甚至在湿度高时也会产生显著的静电电压，但是，在高湿度环境中，生产人员可能会感觉十分不舒服，零部件可能生锈，并产生可焊性问题。同时，企图用湿度控制来消除静电的方法显然是高耗费的，尤其在干燥地区更是如此。

无尘室是为了企业生产的特殊要求而准备的环境设施，对于车间的洁净度、温度风速压力等等都有严格的要求。为了能够让无尘室整体的使用功能性更强，同时对于投入的成本可以有更高的性价比，所以针对于无尘室内部的使用，一定要遵守一定的原则，那么在使用无尘室的过程中有哪些要遵守的呢。 一、工作人员出入要求 洁净区对洁净度肯定是有严格要求的，所以人员进出的数量和频率都会造成影响。在无尘室中生产人员要做到尽量不大量聚集，动作轻缓一些，不要带出过多灰尘及杂质，。进入室内要着无尘衣，衣服要专门管理。如果没有特殊的原因，应当尽力压低人员进出的次数和数量。并且进出时，应及时关闭各扇门，而且关门时要轻且快，不要甩动关门。 无尘室工作人员出入要求 二、温湿度要求 不同的工业产品对车间所需要的温度和湿度都有所不同，而且也有着严格相关的规定。一般的参考值是温度可以在17-25摄氏度之间，湿度控制在28%到60%之间。而且负责的人员应当对温度和湿度进行及时的观测和记录，记录的间隔要在3小时之内。如果天气有很大的变化时，要及时调整记录，并调整车间内的温湿度。 三、按时清洁 对于无尘室内的清洁工作要有计划的安排实施，对于器械工具的管理摆放要注意不留不易清扫的死角，一些可能会产生不洁气体或者杂质的管道等不要安排在室内。 这些就是无尘室日常使用的基本原则，所以在使用的时候，需要注意的事项也要严格遵守，否则破坏了车间内的环境，会对所生产的产品质量造成不好的影响。