静电是净化车间 难控制的因素之一，静电可以使半导体器件生产中的废品增多、降低电子设备的可靠性。因此，在半导体器件的生产中，所有的制造阶段都需要防止静电对器件的作用。 消除静电的方法很多，对有防静电环境要求的净化车间工程，常用以下几种方法： 1、选用合适的材料： 净化车间装修要采用不易产生静电或产生静电后能较快泄漏的材料，多种材料共同使用时，应选用在电序列表中位置接近的材料。所有的材料可归入电的导体或电的绝缘体。导体是电流能通过的材料，绝缘体是电流不能通过的材料。 2、接地： 接地是带电导体消除静电 为普遍、经济、简便、可靠的方法。 (1)净化车间内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施。 (2)电子工业洁净室的围护结构(吊顶、地面、墙、柱)应采用防静电装饰，可以抑制尘埃的带电吸附。 (3)工艺设备接地。 (4)办公设备应采用能防静电的材料制成并接地。 (5)工作人员应穿戴防静电的无尘衣、鞋、帽、手套、腕带等。 3、.中和： 将带电体(静电)周围的空气离子化后，带电的离子在电磁场作用下发生迁移，带电体吸引异性电荷达到中和而消除静电。静电消除器是一种能产生电子和离子的装置，它产生的电子、离子与带电体上的异性电荷中和，从而消除静电。绝缘材料表面所带的静电荷、空气中的静电荷必须用静电中和的办法来消除。 4、湿度控制： 在众多消除静电的方法中，室内湿度控制也被认为可以用来减少和消除净化车间静电。通过在环境中保持高的相对湿度，在该区域内物体的表面将形成薄薄的湿气层，利用这一薄层来提供导电的通道，使得可能产生的电荷流过该湿气层耗散静电荷。另外，薄薄的湿气层可以增加物体表面的润滑性，摩擦生电也将减少。一般来说，湿度越低，产生的电荷越多。但是资料表明，甚至在湿度高时也会产生显著的静电电压，但是，在高湿度环境中，生产人员可能会感觉十分不舒服，零部件可能生锈，并产生可焊性问题。同时，企图用湿度控制来消除静电的方法显然是高耗费的，尤其在干燥地区更是如此。

现如今，随着我国对无尘净化车间建设规模迅速发展与扩大，从无尘净化车间设计上采取有力措施来降低能耗，节约能源，已到了刻不容缓的地步，而从建筑布局、工艺条件上采用的节能技术和措施，可有效地降低能耗和药品生产成本。那么，无尘净化车间如何才能做到节能呢？ 1、设计合适的车间型式 现代无尘净化车间以建造单层大框架正方形大面积厂房。其显著优点是外墙面积 小、能耗低，可节约建筑、冷热负荷的投资和设备运转费用。另外，可控制和减少窗墙比，加强门窗构造的气密性。此外，在有高温差的洁净室设置隔热层，围护结构采用隔热性能和气密性好的材料及构造，建筑外墙内侧采用保温或夹芯保温复合墙板；在湿度控制房间设置有良好防潮性能的密封室：这些措施均能达到节能的目的。 2、减少无尘空间体积 无尘空间的减少，意味着风量比、换气次数、送风动力消耗都随之降低。无尘室每平方米耗能是普通空调办公楼的10~30倍。若减少无尘体积30％，可节能25％。又由于1万级无尘区电耗是10万级的2.5倍，因此，企业应按不同的空气洁净度等级要求分别集中布置，尽 大努力减少洁净室特别是 别无尘室的面积，同时，应使洁净度要求高的无尘室尽量离近空调机房，以减少管线长度，降低能量损耗。 减少无尘空间体积的实用技术之一是建立无尘隧道或隧道式无尘室，其可以满足生产对高洁净度环境和节能的双重要求，使洁净无尘工艺区空间缩小到 限度，风量大大减少。另外，还可采用洁净隧道层流罩装置，以抵抗洁净度低的操作区对洁净度高的工艺区可能存在的干扰与污染。在同样的总风量下，可以扩大罩前无尘截面积5~6倍。同时，还可通过无尘小室、洁净工作台、自净器、微环境等形式，如带层流装置的称量工作台以及带层流装置的灌封机等，实行局部气流保护，以维持该区域的高洁净级别要求，且减少无尘空间体积。