静电是净化车间 难控制的因素之一，静电可以使半导体器件生产中的废品增多、降低电子设备的可靠性。因此，在半导体器件的生产中，所有的制造阶段都需要防止静电对器件的作用。 消除静电的方法很多，对有防静电环境要求的净化车间工程，常用以下几种方法： 1、选用合适的材料： 净化车间装修要采用不易产生静电或产生静电后能较快泄漏的材料，多种材料共同使用时，应选用在电序列表中位置接近的材料。所有的材料可归入电的导体或电的绝缘体。导体是电流能通过的材料，绝缘体是电流不能通过的材料。 2、接地： 接地是带电导体消除静电 为普遍、经济、简便、可靠的方法。 (1)净化车间内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施。 (2)电子工业洁净室的围护结构(吊顶、地面、墙、柱)应采用防静电装饰，可以抑制尘埃的带电吸附。 (3)工艺设备接地。 (4)办公设备应采用能防静电的材料制成并接地。 (5)工作人员应穿戴防静电的无尘衣、鞋、帽、手套、腕带等。 3、.中和： 将带电体(静电)周围的空气离子化后，带电的离子在电磁场作用下发生迁移，带电体吸引异性电荷达到中和而消除静电。静电消除器是一种能产生电子和离子的装置，它产生的电子、离子与带电体上的异性电荷中和，从而消除静电。绝缘材料表面所带的静电荷、空气中的静电荷必须用静电中和的办法来消除。 4、湿度控制： 在众多消除静电的方法中，室内湿度控制也被认为可以用来减少和消除净化车间静电。通过在环境中保持高的相对湿度，在该区域内物体的表面将形成薄薄的湿气层，利用这一薄层来提供导电的通道，使得可能产生的电荷流过该湿气层耗散静电荷。另外，薄薄的湿气层可以增加物体表面的润滑性，摩擦生电也将减少。一般来说，湿度越低，产生的电荷越多。但是资料表明，甚至在湿度高时也会产生显著的静电电压，但是，在高湿度环境中，生产人员可能会感觉十分不舒服，零部件可能生锈，并产生可焊性问题。同时，企图用湿度控制来消除静电的方法显然是高耗费的，尤其在干燥地区更是如此。

别看净化车间好像就是一个无菌室，只需要做好对于细菌的过滤就行了，但是实际上这样的车间打造起来需要的成本与心血是超乎一般人想象的，它首先是在车间的结构材料上面，就需要格外地加以注意了。 比如说像是在结构部分，就会特别地注意使用专门的一些夹芯彩钢板来进行制造，而且像是门窗之类的部分，也都会专门使用净化专用的一些型材来进行打造，也就是说如果想要制作一个无尘车间的话，就连使用的材料也都是特定的，而不能够使用一般的普通材料去进行制作。 净化车间里面的地板也有着十分特殊的要求，通常来说这类车间里面为了保证更好的使用效果，都会使用环氧地坪、现在也有使用 的耐磨塑料地板的，使用这些材料打造地板的好处，就在于它们拥有着非常强大的密度，表面光滑不易被灰尘吸附，而且还能够达到非常好的防静电的作用。 使用了这样的地板之后，能够让整个车间里面的灰尘不至于堆积在地板的细小孔隙当中，能够真正地做到高洁净度的要求。 另外像是一些专门的环保材料以及专业的各种合金材料，像是热镀锌板、或是冷轧板、烤漆铝板等等，也都是在净化车间里面会被用到的材料，它们通常用于打造送风口、回风管等等的部件，确保不会有灰尘通过送风而进入到车间的内部。